工廠所排放出之VOCS 廢氣進入系統后，一階段系經過疏水性沸石所組成之轉輪，VOCS 污染物質首先于轉輪上進行吸附；階段之脫附程序是由與后端焚化系統熱交換后預熱之經冷卻區處理后廢氣(約180至220 ℃)，使其通入轉輪內利用高溫將物脫附下來，此時出流污染物濃度大約可控制為入流廢氣之5至20倍左右，而脫附下來之物則可于第三階段進行溫度于700℃以上之焚化或進行冷凝回收再利用等程序，如此可以減少后續之廢氣處理單元尺寸、操作經費及設備初設費用。

沸石轉輪（也叫分子篩）吸附濃縮裝置采用產品，吸附材質為沸石，沸石結構類似于晶體狀，分子像搭架子似地連在一起，中間形成很多空腔，這便形成了很多的微孔具有的吸附能力，對吸附質分子的吸附能力遠超過其他類型的吸附劑。

沸石吸附轉輪組合,為一中心軸承與軸承周圍之支撐圓形框架支撐著轉體，轉體由沸石吸附介質與陶瓷纖維制成。轉輪上包含用以分開處理廢氣及處理后釋出干凈氣體之密封墊，其材質為需能承受VOC_S 腐蝕性及高操作溫度之柔軟材料制成。密封墊將蜂巢狀沸石吸附轉輪組合隔離成基本之吸附區及脫附，但為提升轉輪之吸附處理能力，則常見于前二區間加一隔離冷卻。通常吸附區為較大，而脫附區及冷卻區則為兩個較小且面積相等之處理區。有時為需求亦可分成串聯區；而吸附轉輪由一組電動驅動設備用以旋轉轉輪，故轉輪處理時為可變速、且可控制每小時旋轉2至6轉之能力。

主要包括蓄熱室、氧化室、風機、燃燒器、閥門、檢測報警儀表等，它通過蓄熱式內安裝的蜂窩陶瓷蓄熱體吸收廢氣在氧化室氧化產生的熱量，并利用這些熱量來預熱新進的廢氣，從而降低處理后廢氣的熱量排放，達到節約廢氣氧化升溫時的熱量損耗，使廢氣在高溫氧化過程中保持較高的熱效率（熱效率95%左右），其設備、操作簡單、維護方便、VOCS凈化等有點；另外利用RTO爐的高溫氣熱量由板式換熱器換熱后送入烘干室余熱回用，熱能回收率達95%以上，達到節能目的。

經過過濾系統處理的廢氣通過收集管道，首入蓄熱室，蓄熱室內安裝的板片式陶瓷蓄熱體將貯存的熱能交換給廢氣，使待處理廢氣達到預熱溫度；經預熱后的廢氣進入氧化室，氧化室內安裝燃料（氣）燃燒器，將溫度升高至800℃以上，達到廢氣中各污染物的氧化溫度，使廢氣中的廢氣被氧化分解成CO₂和H₂O；